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Deposition of hafnium/zirconium oxides solid solution by reactive magnetron sputtering for fast and low power ferroelectric devices
1 : Institut des Nanotechnologies de Lyon - Site de lÍNSA
(INL)
-
Site web
Ecole Centrale de Lyon, Université Claude Bernard Lyon 1, Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270
7, avenue Jean Capelle 69621 VILLEURBANNE cedex -
France
2 : Institut des Nanotechnologies de Lyon - Site Centrale Lyon
(INL)
-
Site web
Ecole Centrale de Lyon, Université Claude Bernard Lyon 1, Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5270
36 Avenue Guy de Collongue, 69130 Écully -
France
3 : Institut des nanotechnologies de Lyon - Ecole Centrale de Lyon
(INL)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA) - Lyon, Université Claude Bernard - Lyon I, CNRS : UMR5270, Ecole Centrale de Lyon, École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon, École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon
bat. F7 36 Av Guy de Collongue - 163 69131 ECULLY CEDEX -
France
4 : Institut des nanotechnologies de Lyon - Site INSA
(INL)
Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, CNRS : UMR5270
bat. Blaise Pascal 7, avenue Jean Capelle 69621 Villeurbanne Cedex -
France
5 : Institut des Nanotechnologies de Lyon - Site de l'INSA
(INL)
-
Site web
CNRS : UMR5270, Université Claude Bernard - Lyon I (UCBL), Institut National des Sciences Appliquées [INSA] - Lyon, Ecole Centrale de Lyon, Institut des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
7, avenue Jean Capelle 69621 VILLEURBANNE cedex -
France
| Type : | : | oral |
| Thématiques | : | MPS6- Matériaux ferroïques : aspects fondamentaux et applications |
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