Flexible capacitive piezoelectric sensor with ultra-long vertical GaN wires
1 : a. Univ. Grenoble Alpes, CEA, LETI, MINATEC Campus, F-38054 Grenoble, France
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) - Grenoble
2 : Université Grenoble Alpes, CEA
(INAC-MEM-NRS)
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) - Grenoble, Université Grenoble Alpes
38000 Grenoble -
France