Acoustical engineering for integrated optomechanical oscillators
1 : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies [Marcoussis]
(C2N)
Université Paris-Sud - Paris 11, Université Paris-Saclay, Centre National de la Recherche Scientifique
Site de DATA4 Route de Nozay 91460 Marcoussis -
France
2 : Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
(C2N)
* : Auteur correspondant
CNRS : UMR9001, Université Paris XI - Paris Sud, Université Paris Diderot - Paris 7
Route de Nozay, 91460 Marcoussis -
France