Nanometer-scale active thermal devices for thermal microscopy probe calibration
1 : Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
(IEMN)
-
Site web
Ecole Centrale de Lille, Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN), Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX -
France
2 : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie
(IEMN)
-
Site web
* : Auteur correspondant
CNRS : UMR8520, Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN), Université Lille I - Sciences et technologies, Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis
avenue Poincaré, Cité scientifique, BP 69, 59652 Villeneuve d'Ascq cedex -
France