JMC2018 - Grenoble - 27-31 aout 2018

Nanometer-scale active thermal devices for thermal microscopy probe calibration
Jun Yin  1, *@  , Jean-Francois Robillard  2@  
1 : Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520  (IEMN)  -  Site web
Ecole Centrale de Lille, Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN), Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis, Université de Lille, Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8520
Laboratoire Central – Cité Scientifique – Avenue Poincaré – CS 60069 – 59652 VILLENEUVE D'ASCQ CEDEX -  France
2 : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie  (IEMN)  -  Site web
CNRS : UMR8520, Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN), Université Lille I - Sciences et technologies, Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis
avenue Poincaré, Cité scientifique, BP 69, 59652 Villeneuve d'Ascq cedex -  France
* : Auteur correspondant

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