Fabrication and thermal characterization of silicon membranes for integrated thermoelectric converters
1 : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie
(IEMN)
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CNRS : UMR8520, Institut supérieur de l'électronique et du nunérique (ISEN), Université Lille I - Sciences et technologies, Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis
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France